Travel Range
20 mm
Felbontás
0,125 μm
Ismételhetőség
＜1 μm
Egyenesség
＜2μm
Párhuzamosság
＜5μm
Dobás
10″（50μrad）
ásítás
Maximális sebesség
5 mm/sec
Terhelhetőség
10 kg
Súly
1,5 kg
